FIB & SEM & TEM : 반도체 정밀 분석 핵심 3가지
FIB 를 활용하여 훨씬 높은 해상도의 물체를 관찰할 수 있는데 그 중에서도 SEM(Scanning Electron Microscope)과 TEM(Transmission Electron Microscope)은 가장 널리 사용되는 두 가지 유형의 전자현미경입니다.
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