식각 종료점 검출, 선택비와 플라즈마 빛으로 멈추는 원리
식각 종료점 검출. 하부막 손상을 막는 식각 선택비의 원리와 광학 발광 분광(OES)·레이저 간섭계로 식각을 정확히 멈추는 EPD를 정리합니다.
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ICP와 CCP 플라즈마, 밀도와 에너지를 나누어 다루는 법
ICP와 CCP 플라즈마. 축전 결합(CCP)과 유도 결합(ICP) 소스가 플라즈마 밀도와 이온 폭격 에너지를 제어하는 원리와 용도를 비교합니다.
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이온과 라디칼 식각, RIE가 수직으로 깎아 내는 시너지
이온과 라디칼 식각. 반응성 이온 식각(RIE)에서 수직으로 떨어지는 양이온과 화학 반응을 일으키는 중성 라디칼이 협업하는 원리를 정리합니다.
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