렌즈 수차와 제르니케 계수, 파면 오차가 패턴에 미치는 영향

렌즈 수차와 제르니케 계수가 노광 패턴 왜곡에 미치는 영향을 설명하는 배너
렌즈 수차와 제르니케 계수. 구면 수차·코마·비점 수차를 제르니케 다항식으로 분해하고 각 수차가 선폭과 초점·위치를 흔드는 원리를 정리합니다.
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