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방향성 자기조립 리소그래피, 고분자가 스스로 줄 서는 원리
2026년 11월 06일
방향성 자기조립. 서로 밀어내는 블록 공중합체(BCP)가 가이드 패턴 안에서 나노미터 주기로 상분리되는 원리와 결함 한계를 정리합니다.
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