멀티 패터닝, 더블과 쿼드 패터닝으로 해상도를 넘는 법
멀티 패터닝이 노광 해상도 한계를 넘는 원리를 LELE와 스페이서 기반 SADP, SAQP로 나누어 설명하고, 비용과 설계 제약, EUV와의 관계를 정리합니다.
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EUV 노광, DUV와 비교해 보는 혁신과 난제
EUV 노광이 DUV와 광원, 광학계, 마스크에서 어떻게 다른지 비교하고, 공정 단순화라는 혁신과 확률적 결함 같은 남은 난제를 정리합니다.
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