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패턴 붕괴, 현상 공정에서 미세 회로가 쓰러지는 원리
2026년 11월 06일
패턴 붕괴. 현상 후 세정액이 마를 때 표면장력과 모세관 힘 때문에 고종횡비 감광액 패턴이 서로 달라붙어 쓰러지는 원리와 해법을 정리합니다.
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