패턴 붕괴, 현상 공정에서 미세 회로가 쓰러지는 원리

패턴 붕괴가 현상 및 세정 건조 과정에서 모세관 힘으로 발생하는 원리를 설명하는 배너
패턴 붕괴. 현상 후 세정액이 마를 때 표면장력과 모세관 힘 때문에 고종횡비 감광액 패턴이 서로 달라붙어 쓰러지는 원리와 해법을 정리합니다.
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