스텝 커버리지와 갭필, 보이드 없이 고랑을 채우는 원리
스텝 커버리지와 갭필. 좁고 깊은 트렌치에 박막을 입힐 때 생기는 오버행과 보이드·심 결함의 원인을 짚고 바텀업 갭필 해법을 정리합니다.
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PECVD와 LPCVD 차이, 온도와 박막 품질이 갈리는 이유
PECVD와 LPCVD 차이. 열에너지만 쓰는 저압 화학기상증착과 플라즈마로 온도를 낮춘 PECVD의 박막 밀도·수소 함량·단차 피복성을 비교합니다.
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ALD 자기 제한 반응, 전구체 선택과 한 층씩 쌓는 원리
ALD 자기 제한 반응. 원자층 증착이 표면 반응 자리가 차면 스스로 멈추는 원리와 증기압·열안정성 등 전구체 선택 기준을 정리합니다.
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