플라즈마 유발 손상, 식각 잔류물과 안테나 효과의 원리
플라즈마 유발 손상. 건식 식각 후 남는 폴리머 잔류물 제거법과 전하 축적(안테나 효과)·자외선·이온 폭격이 소자를 망가뜨리는 원리를 정리합니다.
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고종횡비 식각 불량, 보잉과 트위스팅과 ARDE의 원리
고종횡비 식각 불량. 3D 낸드와 D램의 깊고 좁은 구멍을 팔 때 생기는 배부름(보잉), 뒤틀림(트위스팅), ARDE의 원리와 해법을 정리합니다.
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ICP와 CCP 플라즈마, 밀도와 에너지를 나누어 다루는 법
ICP와 CCP 플라즈마. 축전 결합(CCP)과 유도 결합(ICP) 소스가 플라즈마 밀도와 이온 폭격 에너지를 제어하는 원리와 용도를 비교합니다.
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