스텝 커버리지와 갭필, 보이드 없이 고랑을 채우는 원리
스텝 커버리지와 갭필. 좁고 깊은 트렌치에 박막을 입힐 때 생기는 오버행과 보이드·심 결함의 원인을 짚고 바텀업 갭필 해법을 정리합니다.
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PECVD와 LPCVD 차이, 온도와 박막 품질이 갈리는 이유
PECVD와 LPCVD 차이. 열에너지만 쓰는 저압 화학기상증착과 플라즈마로 온도를 낮춘 PECVD의 박막 밀도·수소 함량·단차 피복성을 비교합니다.
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ALD 자기 제한 반응, 전구체 선택과 한 층씩 쌓는 원리
ALD 자기 제한 반응. 원자층 증착이 표면 반응 자리가 차면 스스로 멈추는 원리와 증기압·열안정성 등 전구체 선택 기준을 정리합니다.
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식각 종료점 검출, 선택비와 플라즈마 빛으로 멈추는 원리
식각 종료점 검출. 하부막 손상을 막는 식각 선택비의 원리와 광학 발광 분광(OES)·레이저 간섭계로 식각을 정확히 멈추는 EPD를 정리합니다.
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이온과 라디칼 식각, RIE가 수직으로 깎아 내는 시너지
이온과 라디칼 식각. 반응성 이온 식각(RIE)에서 수직으로 떨어지는 양이온과 화학 반응을 일으키는 중성 라디칼이 협업하는 원리를 정리합니다.
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EUV 광원 원리, 주석 방울과 레이저로 빛을 만드는 법
EUV 광원 원리. 진공 챔버에서 떨어지는 미세한 주석 방울에 선행·주 레이저를 두 번 쏘아 13.5nm 극자외선을 얻는 과정을 정리합니다.
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