컷 마스크와 블록 공정, 직선 패턴을 회로로 완성하는 법

컷 마스크와 블록 공정으로 라인 앤 스페이스 패턴을 완성하는 원리를 설명하는 배너
컷 마스크. 스페이서 패터닝으로 만든 닫힌 고리와 긴 직선(라인 앤 스페이스)을 원하는 위치에서 잘라 실제 배선으로 완성하는 원리를 정리합니다.
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방향성 자기조립 리소그래피, 고분자가 스스로 줄 서는 원리

방향성 자기조립 리소그래피에서 블록 공중합체가 미세 패턴을 형성하는 원리를 설명하는 배너
방향성 자기조립. 서로 밀어내는 블록 공중합체(BCP)가 가이드 패턴 안에서 나노미터 주기로 상분리되는 원리와 결함 한계를 정리합니다.
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