비아 저항, 첨단 노드에서 점점 커지는 이유와 대책

비아 저항이 첨단 노드에서 커지는 원리를 설명하는 배너
비아 저항은 첨단 노드로 갈수록 왜 가파르게 오를까요. 통로가 좁아지며 생기는 전자 산란과 배리어의 잠식, 금속 교체와 구조 대응을 함께 풀어봅니다.
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다마신 공정 비교, 금속을 직접 깎는 배선과의 차이

다마신 공정 비교로 금속을 채우는 방식과 깎는 서브트랙티브 방식을 나란히 보여주는 배너
다마신 공정 비교. 식각이 어려운 구리를 홈에 채우는 다마신과, 금속을 직접 깎아 배선을 남기는 서브트랙티브 식각의 차이를 짚어봅니다.
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