포토마스크와 펠리클, 회로 원판과 먼지 덮개의 역할
포토마스크와 펠리클의 역할을 정리합니다. 블랭크마스크 구조, 전자빔 묘화와 OPC, 펠리클이 결함을 막는 원리와 EUV 펠리클의 과제까지 살펴봅니다.
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반도체 소재 종류, 웨이퍼부터 가스까지 공정별 지도
반도체 소재 종류를 공정 흐름에 따라 정리합니다. 웨이퍼, 포토레지스트, 블랭크마스크, 특수가스, 케미칼, CMP 슬러리, 패키징 소재까지 한눈에 봅니다.
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