피치 워킹, 스페이서 패터닝에서 배선 간격이 어긋나는 이유

피치 워킹이 스페이서 기반 멀티 패터닝에서 발생하는 원리를 설명하는 배너
피치 워킹. 자기정렬 더블·쿼드 패터닝(SADP·SAQP)에서 맨드릴 선폭과 스페이서 두께 오차로 배선 간격이 어긋나는 원리를 정리합니다.
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