자기정렬 콘택 SAC, 좁은 셀에서 단락을 막는 원리
자기정렬 콘택 SAC. 게이트 보호벽과 식각 선택비로 단락을 막는 원리와, 셀 면적을 줄이는 게이트 위 콘택 COAG를 함께 짚어봅니다.
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식각 종료점 검출, 선택비와 플라즈마 빛으로 멈추는 원리
식각 종료점 검출. 하부막 손상을 막는 식각 선택비의 원리와 광학 발광 분광(OES)·레이저 간섭계로 식각을 정확히 멈추는 EPD를 정리합니다.
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하드마스크와 반사방지막, 정재파와 식각 한계를 잡는 역할
하드마스크와 반사방지막. 노광 시 하부 반사광이 만드는 정재파를 없애는 BARC와 얇은 감광액의 식각 선택비를 보완하는 다층 구조를 정리합니다.
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