컷 마스크와 블록 공정, 직선 패턴을 회로로 완성하는 법

컷 마스크와 블록 공정으로 라인 앤 스페이스 패턴을 완성하는 원리를 설명하는 배너
컷 마스크. 스페이서 패터닝으로 만든 닫힌 고리와 긴 직선(라인 앤 스페이스)을 원하는 위치에서 잘라 실제 배선으로 완성하는 원리를 정리합니다.
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