비아 저항, 첨단 노드에서 점점 커지는 이유와 대책

비아 저항이 첨단 노드에서 커지는 원리를 설명하는 배너
비아 저항은 첨단 노드로 갈수록 왜 가파르게 오를까요. 통로가 좁아지며 생기는 전자 산란과 배리어의 잠식, 금속 교체와 구조 대응을 함께 풀어봅니다.
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구리 배선 대체 금속, 루테늄과 몰리브덴이 뜨는 이유

구리 배선 대체 금속으로 루테늄과 몰리브덴의 특성을 비교하는 배너
구리 배선 대체 금속. 선폭이 좁아질수록 저항이 치솟는 구리의 한계와, 짧은 평균 자유 행로로 유리해지는 루테늄·몰리브덴을 짚어봅니다.
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