포커스 도즈 매트릭스, 보스통 곡선과 공정 윈도우 읽는 법

포커스 도즈 매트릭스와 보스통 곡선으로 노광 공정 윈도우를 읽는 방법을 설명하는 배너
포커스 도즈 매트릭스. 웨이퍼 한 장에 초점과 노광량을 바꿔 찍어 보스통 곡선을 그리고 초점 심도(DOF)와 노광 여유도를 찾는 법을 설명합니다.
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