EUV 마스크 3D 효과, 비스듬한 입사각이 만드는 섀도잉
EUV 마스크 3D 효과. 약 6도 기울어진 반사광 경로와 흡수체 두께 때문에 생기는 그림자(섀도잉) 현상과 Low-n 흡수체 해법을 설명합니다.
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EUV 반사형 마스크, 다층 반사막으로 빛을 되비추는 구조
EUV 반사형 마스크. 모든 물질에 흡수되는 극자외선을 브래그 보강 간섭으로 반사하는 Mo/Si 40쌍 다층박막과 흡수체 구조를 정리합니다.
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