HKMG, High-k 메탈 게이트가 필요해진 배경

HKMG 기술의 배경과 원리를 설명하는 배너
HKMG가 필요해진 배경을 게이트 산화막의 터널링 누설로 설명하고, High-k 절연막과 금속 게이트의 원리, 게이트 라스트 공정을 정리합니다.
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