구리 배선 배리어와 시드층, TaN과 Ta를 겹쳐 쓰는 이유
구리 배선 배리어와 시드층. 실리콘과 절연막으로 파고드는 구리 확산을 막는 TaN/Ta 이중 장벽 구조와 차세대 루테늄·코발트 라이너를 짚어봅니다.
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구리 전해 도금, 첨가제로 바닥부터 채우는 슈퍼필링 원리
구리 전해 도금. 듀얼 다마신 배선 트렌치를 보이드 없이 바닥부터 차오르게 만드는 가속제·억제제·평탄제의 3종 유기 첨가제 원리를 살펴봅니다.
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