3D 낸드 채널 홀 식각과 워드라인 교체의 원리

3D 낸드 채널 홀 식각과 워드라인 교체 공정을 설명하는 배너
3D 낸드 채널 홀은 수직 적층을 관통하는 전자의 통로입니다. 채널 홀 식각과 희생막을 금속으로 바꾸는 워드라인 교체 공정을 풀어봅니다.
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CFET 적층 트랜지스터, 수직 적층과 제조 난제

CFET 적층 트랜지스터가 nMOS와 pMOS를 수직으로 포개는 구조를 설명하는 배너
CFET 적층 트랜지스터는 nMOS와 pMOS를 수직으로 포개 평면 면적을 줄이는 구조입니다. 적층 채널과 배선이 까다로운 제조 난제를 원리로 풀어봅니다.
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