챔버 시즈닝과 챔버 매칭. 세정 직후 내벽 상태 변화로 생기는 첫 웨이퍼 효과를 막는 시즈닝 원리와 다수 설비 간 산포를 맞추는 매칭 기법을 알아봅니다.