리틀의 법칙, WIP와 Cycle Time으로 읽는 팹의 흐름
리틀의 법칙은 재공이 처리율과 사이클 타임의 곱이라는 관계입니다. 가상 숫자로 검산하고 팹에서 WIP가 늘 때 대기가 급증하는 이유를 정리합니다.
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방진 설계, 나노미터 정밀도를 흔드는 진동을 막는 원리
방진 설계가 노광의 중첩 정확도와 SEM 계측을 지키는 원리를 풀어 봅니다. 진동원과 바닥 구조, 수동 방진과 능동 방진의 차이를 정리합니다.
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순간 전압 강하, 짧은 전압 저하가 장비를 멈추게 하는 과정
순간 전압 강하가 팹 장비의 제어기와 펌프와 히터를 멈추게 하는 과정을 풀어 봅니다. UPS와 전압 보상, 장비 내성 설계의 역할도 비교합니다.
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팹 유틸리티, 항온항습과 배기와 스크러버가 하는 일
팹 유틸리티 가운데 항온항습과 배기와 스크러버가 맡는 역할을 정리합니다. 온도 습도 변동과 배기 덕트 분류, 유해 가스 처리 방식을 원리로 풀어 봅니다.
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예방보전과 다운타임 관리, 장비가 멈추기 전에 손보는 원리
예방보전이 계획 정지와 고장 정지를 어떻게 바꾸는지 MTBF와 MTTR과 가용도 검산으로 풀어 봅니다. 시간 기반과 상태 기반의 차이도 비교합니다.
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병목 공정 관리, 팹의 처리량을 정하는 한 곳을 다루는 법
병목 공정 관리가 팹의 처리량을 정하는 원리를 제약 이론 다섯 단계와 가상 숫자 검산으로 풀어 봅니다. 노광에 병목이 생기기 쉬운 이유도 짚습니다.
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OEE 계산, 가동률과 성능률과 양품률을 곱하는 방법
OEE 계산은 가동률과 성능률과 양품률을 곱해 설비종합효율을 구하는 일입니다. 가상 숫자로 계산 순서를 따라가고 읽을 때의 함정을 짚습니다.
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