AMHS 반송 시스템, OHT와 스토커로 로트를 옮기는 구조

AMHS 반송 시스템의 OHT 구조를 설명하는 배너
AMHS 반송 시스템은 팹에서 웨이퍼 용기를 자동으로 옮기는 설비입니다. OHT와 스토커의 구성, 차량이 늘수록 생기는 정체 문제를 정리합니다.
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