SiC 기판 결함, 적층 결함과 BPD가 소자를 해치는 과정

SiC 기판 결함이 소자 수율과 수명에 미치는 영향을 설명하는 배너
SiC 기판 결함이 소자 수율과 수명을 흔드는 이유를 풀어 봅니다. 마이크로파이프와 기저면 전위, 쌍극자 열화, MOS 계면 문제까지 짚어 봅니다.
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