AMHS 반송 시스템, OHT와 스토커로 로트를 옮기는 구조
AMHS 반송 시스템은 팹에서 웨이퍼 용기를 자동으로 옮기는 설비입니다. OHT와 스토커의 구성, 차량이 늘수록 생기는 정체 문제를 정리합니다.
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MES 시스템, 팹의 로트 이력과 공정 경로를 관리하는 방식
MES 시스템은 팹에서 로트의 위치와 공정 경로, 장비 상태, 이력을 관리하는 제조 실행 시스템입니다. ERP, EAP, APC와의 계층 관계도 정리합니다.
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