열산화 공정, 실리콘 표면에서 산화막이 자라는 원리

열산화 공정을 실리콘 산화막 성장으로 설명하는 배너
열산화 공정에서 산화막이 실리콘 표면 위와 아래로 자라는 원리와, 건식과 습식 산화 및 게이트 산화막 형성 과정을 정리합니다.
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