OPC와 컴퓨테이셔널 리소그래피, 마스크를 일그러뜨리는 이유

OPC와 컴퓨테이셔널 리소그래피가 마스크를 보정하는 원리를 설명하는 배너
OPC와 컴퓨테이셔널 리소그래피가 필요한 이유를 회절에서 풀고, 규칙 기반과 모델 기반 보정, SRAF, SMO, ILT까지 단계별로 정리합니다.
Read more