원자층 식각, 한 층씩 깎아 내는 원리와 기존 식각과의 차이

원자층 식각의 원리를 설명하는 배너
원자층 식각(ALE)이 개질과 제거 두 단계로 한 층씩 깎는 원리와, 연속 플라즈마 식각과의 차이, 장점과 한계를 차근차근 정리합니다.
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