STI와 LOCOS, 소자 분리 기술이 발전한 과정

STI와 LOCOS를 소자 분리 기술로 비교하는 배너
STI와 LOCOS의 원리와 공정 흐름, 새 부리 문제가 STI 전환을 이끈 이유, STI에서 새로 생긴 과제까지 정리합니다.
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