에피택시 공정이 기판의 원자 배열을 이어받아 결정을 키우는 원리와, 에피 웨이퍼와 SiGe 스트레서가 쓰이는 이유를 정리합니다.

스트레인드 실리콘이 에너지 띠와 유효 질량을 바꿔 전자와 정공의 이동도를 높이는 원리와, 인장과 압축 응력을 주는 공정 방식을 정리합니다.